LPKF無掩膜激光(guāng)直(zhí)接成(chéng)像技術(shù)制作(zuò)高(gāo)精度(dù)光(guāng)刻(kè)图(tú)形

　　随着激光(guāng)技術(shù)的(de)發(fà)展(zhǎn)，将激光(guāng)技術(shù)直(zhí)接應(yìng)用(yòng)于(yú)微米(mǐ)級元(yuán)件(jiàn)的(de)制作(zuò)，價格低(dī)廉且(qiě)速度(dù)更(gèng)快(kuài)。ProtoLaser LDI是(shì)一(yī)款無需掩模的(de)激光(guāng)直(zhí)接成(chéng)像設備，一(yī)束(shù)激光(guāng)即可(kě)直(zhí)接完成(chéng)感光(guāng)胶(jiāo)的(de)曝光(guāng)。操作(zuò)簡单，內(nèi)置承载(zài)裝(zhuāng)置，将樣(yàng)品放入(rù)即可(kě)直(zhí)接制作(zuò)。
　　功能(néng)強(qiáng)大(dà)的(de)桌面(miàn)型設備：LPKF ProtoLaser LDI激光(guāng)直(zhí)接成(chéng)像設備
　　可(kě)以(yǐ)在感光(guāng)胶(jiāo)上(shàng)制作(zuò)微米(mǐ)級微結構
　　LPKF與(yǔ)斯洛文(wén)尼亞公(gōng)司Aresis以(yǐ)及(jí)盧布(bù)尔雅那(nà)大(dà)學(xué)共(gòng)同(tóng)研發(fà)了(le)新(xīn)一(yī)代(dài)低(dī)成(chéng)本(běn)快(kuài)速制作(zuò)微結構設備。紫外(wài)激光(guāng)直(zhí)写(xiě)光(guāng)刻(kè)設備(LDI)在光(guāng)致(zhì)抗蝕基材上(shàng)直(zhí)写(xiě)图(tú)形，比传统掩膜光(guāng)刻(kè)工藝優勢更(gèng)加明(míng)顯。
　　LPKF LDI对(duì)于(yú)樣(yàng)品的(de)快(kuài)速制作(zuò)极(jí)大(dà)的(de)推動(dòng)了(le)微流體(tǐ)通(tòng)道(dào)以(yǐ)及(jí)微結構领域的(de)研究和開(kāi)發(fà)。實(shí)验(yàn)室(shì)生(shēng)物(wù)芯片(piàn)制作(zuò)設備很大(dà)程度(dù)上(shàng)促進(jìn)了(le)芯片(piàn)小型化(huà)的(de)制作(zuò)过(guò)程並(bìng)且(qiě)減少(shǎo)了(le)液體(tǐ)采樣(yàng)量(liàng)，避免樣(yàng)本(běn)量(liàng)的(de)浪費。LDI設備为(wèi)醫學(xué)、生(shēng)物(wù)學(xué)、化(huà)學(xué)和物(wù)理(lǐ)學(xué)等领域的(de)研發(fà)带(dài)来(lái)了(le)諸多(duō)可(kě)能(néng)性(xìng)。制成(chéng)的(de)樣(yàng)品可(kě)應(yìng)用(yòng)于(yú)血(xuè)液细(xì)胞分析，醫療診断和篩查、传感器(化(huà)學(xué)、生(shēng)物(wù)、环(huán)境和武器技術(shù)；汽車工程)，化(huà)學(xué)合成(chéng)和物(wù)理(lǐ)實(shí)验(yàn)。
　　微流體(tǐ)通(tòng)道(dào)的(de)制作(zuò)
　　在從10納米(mǐ)級到(dào)100微米(mǐ)級的(de)微流控的(de)生(shēng)产制造中(zhōng)主(zhǔ)要有(yǒu)三(sān)種(zhǒng)加工工藝。
　　传统光(guāng)刻(kè)的(de)方(fāng)法(fǎ)主(zhǔ)要适合于(yú)大(dà)規模的(de)生(shēng)产。对(duì)于(yú)修改頻率高(gāo)的(de)樣(yàng)品設計(jì)或(huò)小批量(liàng)的(de)制作(zuò)，传统光(guāng)刻(kè)流程就(jiù)太过(guò)複雜了(le)。
　　在電(diàn)子束(shù)光(guāng)刻(kè)中(zhōng)，電(diàn)子束(shù)被(bèi)電(diàn)磁场(chǎng)聚集成(chéng)微细(xì)束(shù)照到(dào)電(diàn)子抗蝕劑(感光(guāng)胶(jiāo))上(shàng)，從而(ér)形成(chéng)微結構。電(diàn)子束(shù)分辨率20-50nm.然而(ér)这(zhè)个(gè)过(guò)程需要特(tè)殊抗蝕基材、導電(diàn)基闆、高(gāo)真(zhēn)空(kōng)，且(qiě)花(huā)費时(shí)間(jiān)很长(cháng)。
　　LPKF ProtoLaser LDI則具有(yǒu)可(kě)快(kuài)速掃描的(de)激光(guāng)束(shù)，無掩膜激光(guāng)直(zhí)写(xiě)光(guāng)刻(kè)技術(shù)制作(zuò)微結構，加工过(guò)程快(kuài)速、尺(chǐ)寸(cùn)精準、邊(biān)緣平滑、拐角(jiǎo)陡直(zhí)。
　　LDI:快(kuài)速、柔性(xìng)、精準
　　SU8負性(xìng)感光(guāng)胶(jiāo)上(shàng)制作(zuò)幾(jǐ)何尺(chǐ)寸(cùn)精準的(de)柱(zhù)形微結構
　　LPKF ProtoLaser LDI可(kě)用(yòng)于(yú)制作(zuò)微流體(tǐ)通(tòng)道(dào)，MEMS、BioMEMS、集成(chéng)光(guāng)學(xué)、微結構光(guāng)子實(shí)验(yàn)。在精度(dù)方(fāng)面(miàn)，LDI優于(yú)所(suǒ)有(yǒu)類(lèi)似的(de)需要掩膜的(de)光(guāng)刻(kè)設備。投資成(chéng)本(běn)遠(yuǎn)遠(yuǎn)低(dī)于(yú)電(diàn)子束(shù)光(guāng)刻(kè)以(yǐ)及(jí)许多(duō)掩模对(duì)準裝(zhuāng)置。即使宽(kuān)度(dù)小于(yú)1μm的(de)网(wǎng)格LDI也(yě)能(néng)夠輕(qīng)松應(yìng)对(duì)。
　　产品其(qí)他(tā)特(tè)點(diǎn)：激光(guāng)波(bō)长(cháng)为(wèi)375nm TEM00紫外(wài)激光(guāng)光(guāng)束(shù)直(zhí)写(xiě)，这(zhè)也(yě)可(kě)以(yǐ)用(yòng)于(yú)传统的(de)光(guāng)刻(kè)工藝。软(ruǎn)件(jiàn)可(kě)控的(de)激光(guāng)光(guāng)斑尺(chǐ)寸(cùn)(1 - 3 μm)可(kě)以(yǐ)用(yòng)来(lái)滿足不(bù)同(tóng)的(de)精度(dù)需求，集成(chéng)的(de)一(yī)體(tǐ)式攝像头(tóu)靶标(biāo)識别对(duì)基材進(jìn)行精準对(duì)位(wèi)，自(zì)動(dòng)校(xiào)準，也(yě)能(néng)夠对(duì)尺(chǐ)寸(cùn)較大(dà)的(de)樣(yàng)品進(jìn)行制作(zuò)和拼接。