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在(zài)薄膜、塑料或玻璃基體(tǐ)材料上制作(zuò)各(gè)種(zhǒng)功能图(tú)形並(bìng)精确定(dìng)位(wèi)，以(yǐ)便用(yòng)于(yú)光(guāng)致抗蝕劑塗层(céng)选擇性(xìng)曝光(guāng)的(de)一(yī)種(zhǒng)結構，稱为(wèi)光(guāng)刻掩模版。 半導體(tǐ)集成(chéng)電(diàn)路(lù)制作(zuò)过(guò)程通(tòng)常需要(yào)經(jīng)过(guò)多(duō)次(cì)光(guāng)刻工藝，在(zài)半導體(tǐ)晶體(tǐ)表(biǎo)面的(de)介質(zhì)层(céng)上開(kāi)鑿各(gè)...
首先(xiān)是(shì)在(zài)技術(shù)上的(de)難度(dù)：光(guāng)刻机可(kě)以(yǐ)说(shuō)每个部(bù)件(jiàn)都是(shì)科技含量(liàng)很高(gāo)，步步困難重(zhòng)重(zhòng)。瓶(píng)頸主要(yào)集中(zhōng)在(zài)透鏡(jìng)、掩膜版、光(guāng)源、能量(liàng)控制器等。下(xià)面簡單單介绍光(guāng)刻机的(de)結構和(hé)工作(zuò)原理(lǐ)：光(guāng)刻机的(de)光(guāng)源有(yǒu)：激光(guāng)，紫外(wài)光(guāng)、深紫外(wài)光(guāng)、...
光(guāng)學(xué)玻璃是(shì)指能改變(biàn)光(guāng)的(de)傳播方向(xiàng)，並(bìng)能改變(biàn)紫外(wài)、可(kě)見(jiàn)或紅(hóng)外(wài)光(guāng)的(de)相对(duì)光(guāng)譜分(fēn)布(bù)的(de)玻璃。狹義的(de)光(guāng)學(xué)玻璃是(shì)指無色(sè)光(guāng)學(xué)玻璃;廣義的(de)光(guāng)學(xué)玻璃還(huán)包(bāo)括有(yǒu)色(sè)光(guāng)學(xué)玻璃、激光(guāng)玻璃、石(dàn)英光(guāng)學(xué)玻璃。赓旭光(guāng)電(diàn)光(guāng)學(xué)玻璃可(kě)用(yòng)于(yú)制造光(guāng)學(xué)...
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