光(guāng)刻机大(dà)消息

　　7月(yuè)6日(rì)下(xià)午，市(shì)场(chǎng)突然傳来(lái)關(guān)于(yú)芯片光(guāng)刻机的(de)大(dà)消息。根據(jù)DigiTimes報道(dào)，ASML試图(tú)規避荷兰新(xīn)銷售許可(kě)禁令，面向(xiàng)中(zhōng)国市(shì)场(chǎng)推出(chū)特(tè)别版DUV光(guāng)刻机。消息稱如(rú)果(guǒ)該项目繼續推進(jìn)，中(zhōng)芯国際、華虹(hóng)等中(zhōng)国半導體(tǐ)企業可(kě)以(yǐ)繼續使用(yòng)荷兰的(de)设備生(shēng)産28納米(mǐ)及(jí)更(gèng)成(chéng)熟工藝的(de)芯片。
　　消息稱該特(tè)别版DUV光(guāng)刻机基于(yú)TwinscanNXT:1980Di光(guāng)刻系(xì)統改造，而(ér)1980Di是(shì)10年(nián)前(qián)推出(chū)的(de)旧(jiù)型号(hào)，不(bù)在(zài)本(běn)次(cì)官方禁令範圍内。
　　1980Di是(shì)ASML現(xiàn)有(yǒu)效率比较低(dī)的(de)光(guāng)刻机，支持(chí)NA1.35光(guāng)學(xué)器件(jiàn)、分(fēn)辨率可(kě)以(yǐ)达(dá)到(dào)<38nm，理(lǐ)論上可(kě)以(yǐ)支持(chí)7nm工藝。大(dà)多(duō)數晶圆(yuán)廠(chǎng)使用(yòng)1980Di光(guāng)刻机，主要(yào)生(shēng)産14nm及(jí)以(yǐ)上工藝芯片，很少(shǎo)使用(yòng)其(qí)生(shēng)産7nm芯片。
　　最(zuì)近(jìn)，荷兰方面正(zhèng)式宣布(bù)了(le)最(zuì)新(xīn)的(de)決定(dìng)，要(yào)求企業出(chū)口(kǒu)先(xiān)進(jìn)设備前(qián)需要(yào)獲得許可(kě)證，新(xīn)規将在(zài)9月(yuè)1日(rì)生(shēng)效，明(míng)眼(yǎn)人(rén)都知道(dào)这(zhè)一(yī)規定(dìng)針(zhēn)对(duì)的(de)是(shì)誰(shéi)，不(bù)过(guò)荷兰此(cǐ)舉影響的(de)将不(bù)僅是(shì)中(zhōng)国芯片，对(duì)它自(zì)家(jiā)的(de)芯片设備産業也(yě)将造成(chéng)打(dǎ)击。
　　在(zài)荷兰新(xīn)規出(chū)台(tái)之(zhī)後(hòu)，ASML表(biǎo)示，根據(jù)新(xīn)出(chū)口(kǒu)管(guǎn)制条(tiáo)例規定(dìng)，該公司需要(yào)向(xiàng)荷兰政(zhèng)府申請出(chū)口(kǒu)許可(kě)證才能發(fà)運最(zuì)先(xiān)進(jìn)的(de)浸潤式DUV系(xì)統（即TWINSCANNXT：2000i及(jí)後(hòu)續推出(chū)的(de)浸潤式光(guāng)刻系(xì)統）。荷兰政(zhèng)府将決定(dìng)是(shì)否授予或拒發(fà)出(chū)口(kǒu)許可(kě)證，並(bìng)将向(xiàng)ASML提供許可(kě)證所(suǒ)附条(tiáo)件(jiàn)的(de)细(xì)节(jié)。
　　ASML在(zài)聲明(míng)中(zhōng)重(zhòng)點(diǎn)指出(chū)，荷兰政(zhèng)府新(xīn)颁布(bù)的(de)出(chū)口(kǒu)管(guǎn)制条(tiáo)例只(zhī)涉及(jí)TWINSCANNXT：2000i及(jí)後(hòu)續推出(chū)的(de)浸潤式光(guāng)刻系(xì)統（DUV，深紫外(wài)光(guāng)刻）。而(ér)該公司的(de)EUV光(guāng)刻（极紫外(wài)光(guāng)刻）系(xì)統在(zài)此(cǐ)前(qián)已經(jīng)受到(dào)限制，其(qí)他(tā)系(xì)統的(de)發(fà)運暫未受荷兰政(zhèng)府管(guǎn)控。
　　不(bù)过(guò)，中(zhōng)国的(de)反(fǎn)制很快(kuài)就(jiù)来(lái)了(le)。近(jìn)日(rì)，中(zhōng)国方面宣布(bù)，将对(duì)镓、锗相關(guān)物(wù)项实施出(chū)口(kǒu)管(guǎn)制。而(ér)这(zhè)两(liǎng)種(zhǒng)金(jīn)屬被(bèi)稱为(wèi)“芯片粮(liáng)食”。为(wèi)此(cǐ)，美(měi)国、荷兰都提出(chū)了(le)反(fǎn)对(duì)意(yì)見(jiàn)。